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上海伯东 KRI 霍尔离子源 eH 200

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后更新时间:2022-05-12
人气值 5
品牌:
KRI
 
 
 
售后服务:由伯东企业(上海)有限公司从上海浦东新区发货,并提供售后服务
  • ###格货期电议


    上海伯东代理美国原装进口 KRI 霍尔离子源 eH200 是霍尔离子源型 eH 系列中尺寸小, 低成本设计离子源. 霍尔离子源 eH200 适用于小型真空腔内, 例如研发分析, 薄膜沉积和离子清洗. 霍尔离子源 eH200 操作简单是理想的生产工##.


    KRI 霍尔离子源 eH 200 技术参数:

    型号

    eH 200

    供电

    DC magnetic confinement

      - 电压

    40-300V VDC

      - 离子源直径

    ~ 2 cm

      - 阳极结构

    模块化

    电源控制

    eHx-3005A

    配置

    -

      - 阴极中和器

    Filament or Hollow Cathode

      - 离子束发散角度

    > 45° (hwhm)

      - 阳极

    标准或 Grooved

      - 水冷

      - ##座

    移动或快接法兰

      - 高度

    2.0'

      - 直径

    2.5'

      -加工材料

    金属

    电介质

    半导体

      -工艺气体

    Ar, Xe, Kr, O2, N2, Organic Precursors

      - 安装距离

    6-24”

      - 自动控制

    控制4种气体

    * 可选: 可调角度的支架; Filamentless; Sidewinder


    KRI 霍尔离子源 eH 200 应用领域:

    溅镀和蒸发镀膜 PC

    辅助镀膜(光学镀膜)IBAD

    表面改性, 激活 SM

    直接沉积 DD


    1978 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

    若您需要进一步的了解产品详细信息或讨论请联络上海伯东邓女士分机134


  • 位于中国上海浦东外高桥保税区的伯东企业(上海)有限公司创建于1995年12月,是日本伯东株式会社独资设立的外商投资企业,公司注册资金为800万美元。    本公司主要是一家以经营电子接插件、线束、电线以及机械设备、真空产品等精密仪器、设备的维修,以及以半导体制造装置、基板制造装置、电脑软件为主的国际贸易、转口贸易及保税区企业间贸易及保税区贸易代理、贸易及相关技术咨询的公司。 公司一直坚持品质一、信誉至上的原则,为广大客户提供了高品质的产品以及良好的售后服务。到目前为止已先后通过了美国UL安全认证、 ISO9001-2000质量体系认证、ISO14001-1996环境体系认证。公司将在今后的发展中秉承以人为本,不断开拓进取的精神,为满足客户的需求努力向专业化、优质化、集团化发展。
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