手机版手机版
服务热线 周一至周六 8:00-17:00
400-806-8896
供应

上海伯东 KRi 射频离子源 RFICP 220

  • 二维码
  • 手机
    查看
单   价:
面议
起订量:
≥1 (现有库存1000台 )
后更新时间:2022-05-11
人气值 15
品牌:
KRI
 
 
 
售后服务:由伯东企业(上海)有限公司从上海浦东新区发货,并提供售后服务
  • ###格货期电议


    上海伯东代理美国原装进口 KRI 射频离子源 RFICP 220 高能量栅极离子源, 适用于离子溅镀, 离子沉积和离子蚀刻. 在离子束溅射工艺中, 射频离子源 RFICP 220 配有离子光学元件, 可以很##的控制离子束去溅射靶材, 实现##的薄膜特性. 同样的在离子束辅助沉积和离子束刻蚀工艺中, ##的离子光学元件能够完成发散和聚集离子束的任务. 标准配置下射频离子源 RFICP 220 离子能量范围 100 1200ev, 离子电流可以超过 800 mA.

    KRI 射频离子源 RFICP 220 技术参数:

    型号

    RFICP 220

    Discharge 阳极

    RF 射频

    离子束流

    >800 mA

    离子动能

    100-1200 V

    栅极直径

    20 cm Φ

    离子束

    聚焦, 平行, 散射

    流量

    10-40 sccm

    通气

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型压力

    < 0.5m Torr

    长度

    30 cm

    直径

    41 cm

    中和器

    LFN 2000

    KRI 射频离子源 RFICP 220 应用领域:

    预清洗

    表面改性

    辅助镀膜(光学镀膜)IBAD,

    溅镀和蒸发镀膜 PC

    离子溅射沉积和多层结构 IBSD

    离子蚀刻 IBE


    1978 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

    若您需要进一步的了解产品详细信息或讨论请联络上海伯东邓女士分机134


  • 位于中国上海浦东外高桥保税区的伯东企业(上海)有限公司创建于1995年12月,是日本伯东株式会社独资设立的外商投资企业,公司注册资金为800万美元。    本公司主要是一家以经营电子接插件、线束、电线以及机械设备、真空产品等精密仪器、设备的维修,以及以半导体制造装置、基板制造装置、电脑软件为主的国际贸易、转口贸易及保税区企业间贸易及保税区贸易代理、贸易及相关技术咨询的公司。 公司一直坚持品质一、信誉至上的原则,为广大客户提供了高品质的产品以及良好的售后服务。到目前为止已先后通过了美国UL安全认证、 ISO9001-2000质量体系认证、ISO14001-1996环境体系认证。公司将在今后的发展中秉承以人为本,不断开拓进取的精神,为满足客户的需求努力向专业化、优质化、集团化发展。
普通会员
    • 联 系  人: 张婷婷
    • 在线客服:
    • 手机号码:
    • 联系电话:
    • 传      真:
    • 企业地址: 中国上海自由贸易试验区希雅路33号17号楼
    • 工商认证
    • 手机实名
我要询价
验证码
热门产品推荐